一种用于表征样品喷金的截面样品台

专利摘要:
本实用新型公开了一种用于表征样品喷金的截面样品台，属于半导体材料技术领域，包括抛光样品台底座、截面样品喷金台和截面样品贴片；抛光样品台底座上表面开设有竖直方向上的垂直孔和水平方向上的螺纹孔，垂直孔和螺纹孔连通，螺纹孔内设置有紧固螺丝钉，垂直孔为盲孔；截面样品喷金台包括喷金台底座；喷金台底座的下表面设置有与垂直孔配合用的凸起；喷金台底座的上表面设置有端挡板和位于端挡板两端的侧挡板；端挡板和侧挡板相互垂直；两个侧挡板的相对面上固定截面样品贴片的突起卡槽。本申请将加工样品平面贴在截面样品贴片上，将截面样品贴片平面推入卡槽并与之固定，由于截面样品贴片的凹槽与卡槽的突起部分能够刚好吻合，故能够将其固定。
公开号:CN214334441U
申请号:CN202022987861.7U
申请日:2020-12-10
公开日:2021-10-01
发明作者:王俊；陈帅；白国人；王磊；明辰；林海鹏；陈景春；曲迪
申请人:Tianjin Huahuixin Science And Technology Group Co ltd；
IPC主号:G01N1-32

专利说明:
[n0001] 本实用新型属于半导体材料技术领域，具体涉及一种用于表征样品喷金的截面样品台。
[n0002] 众所周知，现有样品喷金方式为将加工样品使用导电胶带，垂直固定在精密刻蚀镀膜仪截面抛光样品台底座上进行加工，样品仅靠导电胶带固定，存在固定不牢导致样品倾倒、脱落的可能，或者导致加工样品损坏，甚至截面样品台及加工样品掉落损坏PECS 设备，同时对样品的厚度、形状、规格要求较高。
[n0003] 本实用新型为解决公知技术中存在的技术问题，提供一种用于表征样品喷金的截面样品台，本申请旨在改变加工样品的固定方式，将加工样品平面贴在截面样品贴片上，将截面样品贴片平面推入卡槽并与之固定，由于截面样品贴片的凹槽与卡槽的突起部分能够刚好吻合，故能够将其固定。
[n0004] 本实用新型的目的是提供一种用于表征样品喷金的截面样品台，包括：
[n0005] 抛光样品台底座1，所述抛光样品台底座1上表面开设有竖直方向上的垂直孔2和水平方向上的螺纹孔，所述垂直孔2和螺纹孔连通，在所述螺纹孔内设置有紧固螺丝钉3，所述垂直孔2为盲孔；
[n0006] 截面样品喷金台和截面样品贴片7；其中：
[n0007] 所述截面样品喷金台包括喷金台底座9；在所述喷金台底座9的下表面设置有与所述垂直孔2配合用的凸起；所述喷金台底座9的上表面设置有端挡板8 和位于端挡板8两端的侧挡板6；所述端挡板8和侧挡板6相互垂直；两个侧挡板6的相对面上固定截面样品贴片7的突起卡槽5。
[n0008] 优选地，所述垂直孔2为圆柱形孔，所述凸起为柱状体4，且垂直孔2的深度等于凸起的长度。
[n0009] 优选地，所述突起卡槽5为水平槽。
[n0010] 优选地，两个突起卡槽5位于同一水平面上。
[n0011] 优选地，所述喷金台底座9为矩形结构。
[n0012] 优选地，所述抛光样品台底座1的上表面为圆形，所述垂直孔2位于抛光样品台底座1上表面的中心位置。
[n0013] 本实用新型具有的优点和积极效果是：
[n0014] 本申请包括已有的精密刻蚀镀膜仪截面抛光样品台底座及紧固螺丝钉、截面样品喷金台底座、截面样品贴片，其中已有的精密刻蚀镀膜仪截面抛光样品台底座，底部中间有一垂直孔，孔径大小与截面样品喷金台底座直径大小相等，截面样品贴片两侧有凹槽与其截面样品喷金台底座突起相适配，对样品进行固定，将样品用铝基导电胶带固定在截面样品贴片上，截面贴片通过卡槽与截面样品喷金台底座进行固定，可承载多个样品同时进行加工，可以根据不同样品的厚度进行调节预留空间，最后将固定好加工样品的截面样品喷金台底座与已有的截面抛光样品台底座进行组合，旋紧紧固螺丝钉后与特定的精密刻蚀镀膜仪传样杆进行匹配固定送至样品室进行喷金。
[n0015] 图1是本实用新型优选实例的结构图；
[n0016] 图2是本实用新型优选实例中抛光样品台底座的结构图；
[n0017] 图3是本实用新型优选实例中截面样品喷金台的结构图；
[n0018] 图4是本实用新型优选实例的俯视图。
[n0019] 为能进一步了解本实用新型的发明内容、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
[n0020] 在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
[n0021] 如图1至图4所示，本实用新型的技术方案为：
[n0022] 一种用于表征样品喷金的截面样品台，包括：
[n0023] 抛光样品台底座1，所述抛光样品台底座1上表面开设有竖直方向上的垂直孔2和水平方向上的螺纹孔，所述垂直孔2和螺纹孔连通，在所述螺纹孔内设置有紧固螺丝钉3，所述垂直孔2为盲孔；
[n0024] 截面样品喷金台和截面样品贴片7；其中：
[n0025] 所述截面样品喷金台包括喷金台底座9；在所述喷金台底座9的下表面设置有与所述垂直孔2配合用的凸起；所述喷金台底座9的上表面设置有端挡板8和位于端挡板8两端的侧挡板6；所述端挡板8和侧挡板6相互垂直；两个侧挡板6的相对面上固定截面样品贴片7的突起卡槽5。
[n0026] 所述垂直孔2为圆柱形孔，所述凸起为柱状体4，且垂直孔2的深度等于凸起的长度。
[n0027] 所述突起卡槽5为水平槽。
[n0028] 两个突起卡槽5位于同一水平面上。
[n0029] 所述喷金台底座9为矩形结构。
[n0030] 所述抛光样品台底座1的上表面为圆形，所述垂直孔2位于抛光样品台底座1上表面的中心位置。
[n0031] 本实用新型的技术方案包括已有的精密刻蚀镀膜仪截面抛光样品台底座1及紧固螺丝钉3，截面样品喷金台底座9，一个端挡板8和两个侧挡板6，截面样品贴片7，其中截面抛光样品台底座座1包括样品台底座本体，以及中间的垂直孔2，该直通孔分布在样品台底座中间位置，并未完全贯通样品台底座，并与截面样品喷金台底座凸起柱状体直径、长度相适配，并用紧固螺丝钉3旋紧固定；与其相使用的截面样品喷金台包括喷金台底座9，柱状体4与样品台底座固定；突起卡槽5与截面样品贴片7固定。
[n0032] 工作原理：将样品10用铝基导电胶带固定在截面样品贴片7上，截面样品贴片7通过卡槽与截面样品喷金台底座9进行固定，可承载多个样品同时进行加工，可以根据不同样品的厚度进行调节预留空间，最后将固定好加工样品的截面样品喷金台底座9与已有的截面抛光样品台底座1进行组合，旋紧紧固螺丝钉3后与特定的精密刻蚀镀膜仪传样杆进行匹配固定送至样品室进行喷金。
[n0033] 以上所述仅是对本实用新型的较佳实施例而已，并非对本实用新型作任何形式上的限制，凡是依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改，等同变化与修饰，均属于本实用新型技术方案的范围内。

权利要求:
Claims (6)
[0001] 1.一种用于表征样品喷金的截面样品台，包括抛光样品台底座(1)，所述抛光样品台底座(1)上表面开设有竖直方向上的垂直孔(2)和水平方向上的螺纹孔，所述垂直孔(2)和螺纹孔连通，在所述螺纹孔内设置有紧固螺丝钉(3)，所述垂直孔(2)为盲孔；其特征在于，至少还包括截面样品喷金台和截面样品贴片(7)；
所述截面样品喷金台包括喷金台底座(9)；在所述喷金台底座(9)的下表面设置有与所述垂直孔(2)配合用的凸起；所述喷金台底座(9)的上表面设置有端挡板(8)和位于端挡板(8)两端的侧挡板(6)；所述端挡板(8)和侧挡板(6)相互垂直；两个侧挡板(6)的相对面上固定截面样品贴片(7)的突起卡槽(5)。
[0002] 2.根据权利要求1所述的用于表征样品喷金的截面样品台，其特征在于，所述垂直孔(2)为圆柱形孔，所述凸起为柱状体(4)，且垂直孔(2)的深度等于凸起的长度。
[0003] 3.根据权利要求2所述的用于表征样品喷金的截面样品台，其特征在于，所述突起卡槽(5)为水平槽。
[0004] 4.根据权利要求1所述的用于表征样品喷金的截面样品台，其特征在于，两个突起卡槽(5)位于同一水平面上。
[0005] 5.根据权利要求1-4任一项所述的用于表征样品喷金的截面样品台，其特征在于，所述喷金台底座(9)为矩形结构。
[0006] 6.根据权利要求5所述的用于表征样品喷金的截面样品台，其特征在于，所述抛光样品台底座(1)的上表面为圆形，所述垂直孔(2)位于抛光样品台底座(1)上表面的中心位置。

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同族专利:

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公开号 | 公开日

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引用文献:

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公开号 | 申请日 | 公开日 | 申请人 | 专利标题

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法律状态:
2021-10-01| GR01| Patent grant|

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2021-10-01| GR01| Patent grant|

优先权:

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申请号 | 申请日 | 专利标题

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